ViaCon TF(基板測定装置)

基板の外形・スリット寸法や穴位置を高速検査

・基板測定時間 最大2分

・マルチスキャン 最大32枚

・フリーアライメント機能

測定機能

  • ・外形寸法、スリット寸法、穴位置分布
  • ・測定精度:+/-7μ(外形寸法)
  • ・測定ポイントのティーチング事前作成機能
オプション機器(TFMへのversionup)
反射光を用いて、パターンから穴、外形、スリットへの
測定も可能にします。

仕様

カメラ分解能(μ)
7
測定可能基板
最大サイズ(mm)
630×630
測定方式
透過光方式
免振装置
標準装備

装置サイズ

幅(mm)
1400mm
高さ(mm)
2000mm
奥行き(mm)
2100mm
重量(kg)
2400kg

ViaCon Mini(基板測定装置)

基板の外形・スリット寸法等を高速測定する低価格な装置

・基板測定時間 約30秒

・マルチスキャン 最大16枚

・フリーアライメント機能

測定機能

  • ・外形寸法、スリット寸法、穴位置分布
  • ・測定精度:+/-10μ(外形寸法)
  • ・測定ポイントのティーチング事前作成機能
オプション機能
340mm×450mmの少し大きめな測定エリアへの
変更も可能です。※装置サイズも変更になります。

仕様

コンタクトイメージ
センサー分解能(μ)
10.5
測定可能基板
最大サイズ(mm)
240×400
測定方式
透過光方式
免振装置
標準装備

装置サイズ

幅(mm)
1100mm
高さ(mm)
1300mm
奥行き(mm)
650mm
重量(kg)
440kg

スピンドル偏芯測定器 SDM-301

光学式測定方法を採用したスピンドルの検査器です。
非接触で高精度な偏芯量/回転数測定が行えます。

仕様

光学式測定 / コンパクト設計 /単4型乾電池4本使用 /
PCリンク機能
偏芯量測定範囲 :1~49.9μm / 0.1μm表示
回転数測定範囲:30~300krpm / 1krpm表示

mr.kenzoの呼びかけ

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